- 可实现压力测量胶片的整体解决方案读取、分析和存储的专用工作基站
- 支持A3尺寸,可对半导体行业广泛使用的12英寸(300毫米)晶圆进行压力检测
上海2026年9月22日 美通社 -- 富士胶片株式会社宣布推出“FUJIFILM Prescale Station A3”(简称“Prescale Station A3”),这是面向压力测量胶片“Prescale” *1的专用压力图像分析系统“FUJIFILM Prescale Station”的A3尺寸机型。“Prescale Station A3”于2026年7月22日起正式发售。通过在现有产品阵容中新增A3尺寸机型,富士胶片将与既有A4机型形成互补,支持更广泛的尺寸范围,满足不同规模的压力检测需求。“Prescale Station A3”将助力半导体、电子元器件、汽车、电池等众多行业提升制造工艺中的压力检测效率,并强化质量管理。
“Prescale”是一款可将物体间接触压力和表面压力的平衡与分布可视化的压力测量胶片。当施加压力时,胶片会变为红色,颜色深浅直观反映压力大小。
“Prescale Station”是一套通过高分辨率工业自动化相机(简称“FA相机”)*2捕捉“Prescale”胶片显色图像、进而实现压力定量化的系统。用户可借此轻松、高精度地分析和保存数据。自2025年10月发售以来,“Prescale Station”已在提升压力检测效率和强化质量管理方面发挥重要作用,尤其在半导体和电子元器件行业成效显著。
近年来,随着制造工艺日益精密化,质量保障和可追溯性要求不断提高,压力检测在各制造工艺中的重要性持续上升。特别是在半导体领域,晶圆键合以及封装等工艺中,对精度和稳定性要求愈发严格。
结合“Prescale”胶片显色图像,“Prescale Station A3”能够对当前半导体制造中广泛使用的12英寸(300毫米)晶圆的表面压力进行测量分析。同时,该设备也支持读取今年6月上市的晶圆形状的圆形压力测量胶片“Round Prescale”*3。“Prescale Station A3”通过内置的高分辨率FA相机拍摄施压后的压力测量胶片,结合富士胶片先进的图像处理与光学技术,高效地分析与保存压力数据。此外,基于客户自有检测标准设定的自动合格判定功能,将读取、分析、判定、记录全流程整合一体。这有助于缩短设备维护时间,提升制造现场大批量生产过程中的产品质量。富士胶片将继续根据客户需求,推出新功能并提供软件更新,提升分析能力与易用性,为制造现场的检测作业提供有力支持。
富士胶片将持续发挥多年积累的技术优势,助力制造现场构建高精度、高效率的检测工作流程,推动运营数字化转型,从而为提升客户制造现场的检测效率与强化质量管理作出贡献。
| *1 应用富士胶片精密涂布和微胶囊技术,可轻松实现压力、压力均匀性与分布可视化的胶片。推荐使用温度:20℃~35℃。 |
| *2 工业相机读取施压后的“Prescale”,可应对尺寸测量、缺陷检测、条码读取等多种用途。 |
| *3 为匹配晶圆形状而设计的圆形“Prescale”,用于半导体制造工艺中的压力检测。 |
1.产品名称与发售日期:
产品名称:“FUJIFILM Prescale Station A3”
发售日期:2026年7月22日
2. “Prescale Station A3” 的主要特点:
(1) 从读取、分析到数据保存的整体解决方案专用图像分析系统实现压力可视化
“Prescale Station A3”通过高分辨率FA相机拍摄施压后的“Prescale”,并在计算机上实现压力数据的分析与保存。得益于其高分辨率,即便是细微的压力分布差异也能被清晰可视化。该设备支持最大A3尺寸的压力检测,可对当前半导体制造中广泛使用的12英寸(300毫米)晶圆的表面压力测量用“Prescale”胶片进行分析。读取的图像以压力分布图的形式呈现在计算机中,用户可通过颜色与数值判断压力分布。“Prescale Station A3”还能够显示最大值、最小值、平均值等分析结果,对用户指定区域进行评估,并保存检测结果,使用户能够轻松进行压力状况的定量评估。此外,A3与A4两款机型计划于2026年8月追加“检测框分组”与“压力中心分析”等新功能。
(2) 稳定的读取环境与带自动判定的高效工作流
“Prescale Station A3”采用遮光结构与光学设计,能够创造稳定读取环境,不受照明条件影响。通过消除外部光线的影响,保持压力测量的一致性。通过预先设定阈值,设备可根据既定标准自动进行合格判定。图像内最多可自动配置35个检测框,实现多区域同步分析。这有助于提升检测流程的效率与标准化水平,减少人为判断带来的偏差。
(3) 通过数据保存确保可靠的可追溯性
读取图像、分析图像、压力分布图及测量结果均可保存至计算机,支持检测历史管理和质量保证文件的制作,有助于进一步强化制造现场的质量管理体系。
3. 产品规格:
产品名称:“FUJIFILM Prescale Station A3”
适用产品:Prescale (5LW~LW), 高温用Prescale 100 (LLLW~LW), 高温用Prescale 200 (LLLW~LW)
主要功能:各类压力测量、自动判定、数据输出
读取尺寸:A3(最大读取尺寸:纵向451mm×横向321mm)
功耗:约56W
外形尺寸:宽67cm×高65cm×深85cm
重量:约27kg